MEMS-Oszillatoren (Mikroelektromechanisches System) können auch als Silizium-Oszillatoren bezeichnet werden. MEMS kombinieren niedrigen Energieverbrauch mit genauer Frequenz und Drop-in-Abmessungen für Standardoszillatoren. MEMS gibt es sowohl als kHz- wie auch als MHz-Oszillatoren, die eine höhere Temperatur und engere Stabilität als herkömmliche Oszillatoren kombinieren.
Diese Geräte haben eine hohe Beständigkeit gegen Vibrationen und Stöße und eine hohe Zuverlässigkeit in Bezug auf Temperaturschwankungen. MEMS-Oszillatoren sind außerdem weniger empfindlich gegenüber elektromagnetischen Störungen (EMI), die in den meisten Systemen vorkommen. MEMS sind programmierbare Geräte und verfügen daher über einen sehr breiten Frequenzbereich.
MEMS-Geräte bestehen aus mechanischen Bauteilen wie Betätigungselementen, Sensoren und Elektronikteilen auf einem Siliziumsubstrat.