Silizium-Oszillatoren

MEMS-Oszillatoren (Mikroelektromechanisches System) können auch als Silizium-Oszillatoren bezeichnet werden. MEMS kombinieren niedrigen Energieverbrauch mit genauer Frequenz und Drop-in-Abmessungen für Standardoszillatoren. MEMS gibt es sowohl als kHz- wie auch als MHz-Oszillatoren, die eine höhere Temperatur und engere Stabilität als herkömmliche Oszillatoren kombinieren.

Diese Geräte haben eine hohe Beständigkeit gegen Vibrationen und Stöße und eine hohe Zuverlässigkeit in Bezug auf Temperaturschwankungen. MEMS-Oszillatoren sind außerdem weniger empfindlich gegenüber elektromagnetischen Störungen (EMI), die in den meisten Systemen vorkommen. MEMS sind programmierbare Geräte und verfügen daher über einen sehr breiten Frequenzbereich.

MEMS-Geräte bestehen aus mechanischen Bauteilen wie Betätigungselementen, Sensoren und Elektronikteilen auf einem Siliziumsubstrat.

Vorteile von MEMS

• Sehr niedriger Energieverbrauch
• Sehr geringe Größe
• Einfache Integration in Systeme
• Beständig gegen Vibrationen, Stöße und Strahlung
• Niedrige Kosten

Anwendungen

• Konsumgeräte – Haushaltsgeräte, Sportgeräte, Computerperipheriegeräte
• Automobilbranche – Airbags, Fahrzeugsicherheitssysteme, Türschlösser, interne Bremsleuchten, Überschlagserkennung
• Verteidigung – Panzer, Ausrüstung für Soldaten, Flugzeuge
• Industrie – Erdbebenerkennung, Maschinenzustände, Stoß- und Neigungssensoren